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FPD検査

 

FPD検査

超高解像度の表面検査はパネル品質に直結する重要な要素です。
一方で検査を目視により行うことは困難であるため、
高解像度カメラを搭載した外観装置を使用することが多いです。

 

要求されるカメラの仕様

  • 解像力:50MP以上のピクセル数を持つエリアカメラであること
  • 検出性:サイズ検出の妨げになるノイズへの対応が出来ていること
  • 読み出し性能:高画素データの全画素読み出しに対応していること
  • 該当製品
    モデル名 選定ポイント
    shr611MXGE 10GigE規格採用 / Sony高画素グローバル素子 / 耐熱ノイズ性アルミハウジング
    hr120MCX CoaXPress規格採用(CXP-6x4ch) / 120MPixの超高解像度 / 低ノイズな筐体デザイン
    hr51MCX CoaXPress規格採用 / 旧CCDセンサーの置き換えに