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PP3005 SEM Cool

冷却ステージ
冷却ステージ

 

● ドローンアウト仕様(トランスファーは含まない)

 

● 液体窒素による低温窒素ガス冷却方式

 

● 良好な熱応答性により-190℃まで冷却

 

● 床置の大容量液体窒素デュワーにより、長時間の連続運転が可能

 

● 冷却トラップ(アンチコンタミネーター)付属

 

● PP3006へのアップグレードが可

 


  ・FE-SEM&FIB/SEM用 クライオシステム カタログ

 

 

  SEM Coolは、PP3006とベースは同様ですが、PP3006 QuickLokの無いタイプになります。これは、サンプル交換時にAirLokが不要なクライオアプリケーション向けにデザインされております。

 

 

冷却ステージと冷却トラップ
 
SEMステージに温度安定性や断熱性に優れた窒素ガス冷却ステージを取付けます。冷却トラップの取付け位置や形状はチャンバー構成に合わせて設計 製作されます。冷却ステージと冷却トラップは最低到達温度-190℃でその温度安定度は0.5℃以内です。試料交換時に必要なチャンバー用LED照明の取 付けも可能です。
試料ホルダー受けのある冷却ステージはアダプターでSEMステージに取付けられます。冷却ステージを使用しない時は、チューブや電気配線を接続したままSEMチャンバーの中に保管できます。  
 

 

 
冷却用デュワー、台車、コントローラ
 
冷却ステージや冷却トラップは真空断熱タイプ熱交換器と長時間運転可能な21L冷却デュワーによって冷却されます。冷却デュワーとSEMインターフェース間のラインじゃ熱効率が最大になるようにしんくうう断熱されています。
冷却デュワーは冷却ステージ、冷却トラップ、モニター、ガスフローコントローラなどが収納された台車に搭載されています。  
 
排気について
 
SEM Coolでは定期的に真空断熱チューブを真空引きする必要があります。

 

 

 

< 主な仕様 >


 

・窒素ガス冷却タイプ温度センサー付冷却ステージおよび冷却トラップ
・温度制御範囲:-190℃
・21L台車付きデュワー
・真空断熱タイプ熱交換器
・LEDチャンバーライト
・排気装置への接続部品
 
 

【試料ホルダー】

 
・試料シャトル(Φ10mm 試料スタブ用 3個)
・試料シャトル(ブランク)
・保持クリップ付試料シャトル
・Φ10mmブランクスタブ(10個)
・マルチ試料スタブ(5個)
・試料固定用コロイドグラファイトおよびTissue-Tek
 
 

【排気装置】

 
熱交換器の真空断熱チューブの排気用にロータリーポンプが必要です。
・Preiffer Duo 6:5m3/hr オイルミストフィルタ付ロータリーポンプ
 
 

【オプション&アクセサリ】

 
・Sircalインラインガス乾燥機:供給窒素ガス水分含有量減少に使用
・PP3010Tで使用しているホルダーをPP3005でも使用可能
 
 

 

 

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