マイクロインジェクション（MIS）／ガスインジェクション（GIS）

「マイクロインジェクション（MIS）／ガスインジェクション（GIS）」は、マニピュレータのPlug-inツールのひとつで、低真空SEM内で、試料に液体やガスを注入します。

MISは、マニピュレータの先端に取付けられる「マイクロバルブ」と「コントローラ」から構成されます。試料室内のマイクロバルブが開くと、試料室外に設置された液体は、気圧差で試料室内に引き込まれます。マイクロバルブの開閉はコントローラで制御されます。

GISは、「温度可変リザーバー」内に充填したプリカーサーや液体を原料として、SEM試料室内サンプルに気化したガスを導入します。「ナノモーター」によってバルブ制御がなされ、ガス導入量を非常に細かく調整できます。

※マイクロインジェクションを行う場合、液体の飽和水蒸気圧と照らし合わせて行う必要があります。一般に、環境制御型SEM（ESEM）と冷却ステージが必要です。

・Kleindie社総合カタログ（マイクロマニピュレータ）

アプリケーション

●　食品、繊維、生理学、製薬、建材、冶金

紹介動画

[Micro Injection System for ESEM]

[Charge Compensation inside an SEM using the GIS-EM]

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