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MiniQ GD

シングルチャンバーグロー放電システム

 

MiniQ GD は、使いやすさを重視してシンプルに設計され、TEMグリッドの表面修飾を可能にし、高分子のイメージングを鮮明にします。

  ・シングルチャンバーグロー放電システム MiniQ GD カタログ

 

特長

  ・ 簡単な操作
  ・ 堅牢なタッチパネル
  ・ 省スペース
  ・ 最小限の操作で自動運転
  ・ クリーニングが容易な着脱式チャンバー(防爆シールド付き)
  ・ ワンタッチで操作可能なプリセットプロファイル

 

安全性

  ・ MiniQ GDは、英国および欧州(CE)の業界標準に適合しています。(LVD、EMC、RoHS を含む)
  ・ ユーザーが予期せず高電圧にさらされるのを防ぐインターロック付き

 

仕様

製品
MiniQ GD
装置寸法
幅 225 mm × 奥行 420 mm × 高さ 325 mm
(コーティングヘッドオープン時 高さ 480 mm)
重量
8.7 kg
試料ステージ
φ50 mm ステージ
真空排気
KF16フランジ SUSフレキシブルホース1.5 m(標準)

 

 

 

Quorum Technologies社 ハイブリットコーター(スパッター・カーボンコーター)・クライオSEMシステム


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