電子ビームリソグラフィーは、フォトリソグラフィー用のマスク製造や、半導体部品の少量生産、研究開発などに幅広く利用されています。多くの市場では、市販の電子顕微鏡を低コストのパターンジェネレータで電子ビームリソグラフィーシステムに改造することが一般的です。 |
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フレネルレンズの光顕微鏡像 レンズの100倍拡大写真 レンズの400倍拡大写真 レンズの3250倍拡大写真 26000倍では、200nmのステッチエラーが見られる |
Kleindiek社 <マイクロマニピュレータ・サブステージ>
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