マイクロクリーニング

圧縮空気を用いたマイクロクリーニングシステムは、半導体、空間光変調器、CCDチップ、OLEDなど、非破壊（表面接触ゼロ）クリーニングを必要とする高感度な表面に使用することができます。

クリーニングプロセスは光学顕微鏡下で行われ、マニピュレータを使用してノズルを不純物の近くに正確に配置します。その後、ミリ秒単位で圧縮空気を送り込み、表面の不純物を吹き飛ばします。

以下のビデオ動画では、このシステムの動作をご覧いただけます。