電荷中和

SEMやFIBで非導電性の表面をイメージングすることは困難です。帯電の影響を軽減する方法の1つとして、窒素や水蒸気などの不活性ガスを導入して帯電を吸収し、画質を向上させる方法があります。

GIS-EMプラグインは、内部のリザーバー（例：水を入れて使用する）または外部のガス源から、正確に制御された量のガスを対象領域に供給することができます。