引張試験

既存のナノメカニカル試験用デバイスは、必要な空間分解能または力分解能のいずれかを備えていますが、両方を備えていることはほとんどありません。

従来のAFMおよびナノインデンテーションベースのシステムは通常、in-situ試験には適していません。微小電気機械システム（MEMS）は通常、小さな変位しか許容せず、従来のin-situテスト装置は変位と力の分解能が不十分です。また、多くのシステムではあらかじめ定義された1つの平面でしか動作しないという制約があります。

MM3A-EMマイクロマニピュレーターにFMS-EMプラグインツールを装着することで、これらの制限を克服することができます。高感度のピエゾ抵抗型AFMチップを使って、広い作業領域の3つの平面で力を測定することができます。

位置エンコーダー付きのサブステージも、この種のアプリケーションには理想的なツールです。フォースセンサーを装着することで、直接位置をフィードバックしながら2面での測定が可能になります。