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ナノフォージング

ナノフォージングとは、金属合金からさまざまな種類のナノ構造材料を製造することを指します。

このプロセスでは、まずバルク合金中にナノ構造を確立し、その後、選択的相溶解によりそれらを分離します。
次に、マニピュレーターを使ってSEMのサンプル表面からこれらの物体を分離し、マイクロアンビルに配置します。
最後に、in-situナノメカニカルテストが行われ、マイクロハンマーを用いたナノフォージングによって物体の形状が変化します。

このようにして、100nm台の寸法で自立した高強度の金属ナノオブジェクトを作ることができます。

 

イメージ

 


ニッケル基超合金でできた立方体のマニピュレーション


1µmのニッケル基超合金粒子の変形


シリコンカンチレバーのセットアップと曲げ試験の概要

 

紹介動画

 


[Nanoforging inside an SEM/FIB]

 

 

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