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LT6620シリーズ

●　可動範囲　20mm

●　動作軸　[ XY / XYZ ]

●　エンコーダー無し（オープンループ）

●　超高真空（UHV）モデル有り


  ・Kleindie社 総合カタログ（マニピュレータ・サブステージ）

 

 

LT6620 仕様

 

サイズ
XY モデル ：66×66×26 mm
XYZ モデル：66×66×50 mm ＋15 mm 駆動
可動範囲
X= 20 mm、Y= 20 mm、Z= 15 mm
分解能
XYZ < 0.05 nm
エンコーダー
無し

 

 

 

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