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「Lift-out Shuttle」(LOS)は、FIBでのTEM試料のリフトアウトに特化され、XYZ(またはXYZR)ステージとマイクログリッパーから構成されます。グリッパーはShuttleプラットホームに固定されており、プラットホーム中心に配置されたステージを動かすことで、試料薄片のリフトアウトおよびTEMグリッドへの移動を行います。 |
*1: 試料のリフトアウト (マイクログリッパー MGS2-EM) |
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*2: 試料の固定 (電子線硬化接着剤 SEMGLU) |
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*3: アプローチ / コンタクト (XYZピエゾステージ) |
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SEM |
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FIB |
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リフトアウト | アプローチ | 固定 | リリース |
仕様 |
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紹介動画 |
[TEM Sample LiftOut inside a SEM/FIB using SemGlu and the LifOut Shuttle] |
[Three TEM lamella liftouts in twelve minutes] |
[LiftOut Shuttle: LOS+ and TEM-sample clipholders] |
Kleindiek社 <マイクロマニピュレータ・サブステージ>
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