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微小電流測定キット(LCMK)

  「微小電流測定キット」(LCMK)は、マニピュレータの先端に取付けられるPlug-inツールのひとつです。

  「マイクロマニピュレータ」(MM3A-EM)単体でもプロービングが可能ですが、LCMKは信号ラインをMM3A-EM駆動用のラインと分離し、かつTriaxケーブルを用いることで、内部抵抗やノイズを改善し、より高感度な測定を可能にします。

  (電流検出限界 MM3A-EM単体=10nA ⇔ LCMK=1pA)
  「Prober Shuttle」(PS4)には、LCMKが標準組込みされています。

 


  ・Kleindie社 総合カタログ(マイクロマニピュレータ)

 

 

アプリケーション

● プロービング(微小電流・容量測定)
● EBIC(Electron Beam Induced Current)
● RCI (Resistive Contrast Image:吸収電流像)
 
ナノプロービング EBIC  

 

 

 

紹介動画



[Probing experiment inside an SEM]

 

 

 

Kleindiek社 <マイクロマニピュレータ・サブステージ>


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