KARMEN - 高温でのSEM観察用 伸縮式BSE検出器
|
『KARMEN』は、電子顕微鏡用の高温用BSE検出器で、Crytur最高クラスの単結晶シンチレータに、精密高真空メカニクスと読み出し回路を使いやすい単一パッケージにまとめた製品です。 |
高信頼性センサ |
||
|
● 超長寿命な単結晶CRY 18センサ
● 超高品質な画像の為のシンチレータ/PMT
● 高温・ガス環境下でも優れたS/N比
● 低～高真空下や高温下、ガス雰囲気下でのBSE像
● 試料温度：1000℃以上まで |
 
|
|
精密機構 |
||
|
● モータ駆動式引き込み機構
● ベローズ式引き込み機構による超高真空
● 引き込み範囲：150 mm
● コンパクト設計
● 精密な位置調整
● 各種SEMへ取付可能
|
 
|
|
＜ KARMEN 仕様 ＞
|
センサ部 |
| ● 最適化された効率、最小化された残光、30光子/keVでの減衰時間45nsのCRY 18シンチレータ |
| ● 外径15 mm |
| ● 穴径：2、3、4 mm （観察視野は穴径による） |
| ● 高温試料からの熱電子をカットする100nmのAlコーティング ヒートパイプ技術による冷却 |
| ● 最小感度：ビーム電流値10 pA |
|
電子制御部 |
| ● 寸法：270☓180☓65 mm |
| ● 電源：AC 230/110 V |
| ● 異なるスキャン速度に最適化された3つのノイズフィルタ |
| ● 帯域幅：50 MHz |
| ● 内蔵電源：光電子倍増管用0～1200 V |
| ● ビデオ出力信号：±1V（±5V） |
| ● 完全遠隔ソフトウェア制御 |
|
作動機構部 |
| ● 寸法：406 x 100 x 72 mm |
| ● 超高真空度のベローズ設計 |
| ● モータ駆動式引き込み：150 mm |
| ● XYZ軸での微調整：±2 mm |
| ● 位置再現性：±0.02 mm |
| ● ヒートパイプ技術による受動冷却機構、高温試料からの輻射を遮蔽する機構 |
| ● 各種SEMのフランジに対応 |
| ● 銀/黒/青/赤の艶消し仕上げ |
Crytur社 ＜イメージスクリーン - シンチレーター、BSE検出器＞
