フォースメジャーシステム（FMS） - AD SCIENCE －株式会社アド・サイエンス

「フォースメジャーシステム」（FMS）は、マニピュレータのPlug-inツールのひとつで、力（押し込み／引張り）の読み取りを行います。

FMSは「フォースセンサー（自己検知型カンチレバー）」（FMT）、「FMT用プラグインホルダ」、「コントローラ」、「ソフトウェア」から構成されます。

SEM観察をしながらマニピュレータを操作し、FMT先端を試料に押し込み／引張りをします。FMTの変位を電圧としてコントローラに出力し、ソフトウェアでForce-timeカーブを表示・レコーディングします。
SEM内で高倍率観察できることから、微小サンプルや局所領域にセンサーTipを接触させることが可能です。

・Kleindie社総合カタログ（マイクロマニピュレータ）

アプリケーション

●　応力・引張り測定

紹介動画

[Tensile testing inside the SEM/FIB]

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