ユーセントリック5軸ステージ（E5AT） | AD SCIENCE　－株式会社アド・サイエンス

ユーセントリック5軸ステージ（E5AT）は、サンプルを無制限に回転させ、対象領域をユーセントリック位置に維持しながら、サンプルを±90度に傾斜できるように設計された5軸ポジショニングツールです。

このシステムは、傾斜プラットフォームに取り付けられた小さな4軸サブステージで構成されています。
サブステージは、XおよびY方向に10 mm x 10 mm、Z方向に3 mmの可動範囲を持ちます。さらに、回転軸によりサンプルを無制限に360度回転させることができます。傾斜プラットフォームには、0.1度の分解能を持つ位置エンコーダが取り付けられています。

・Kleindie社総合カタログ（マニピュレータ・サブステージ）

E5AT仕様

サイズ	72 mm（L） × 50 mm（W） × 44 mm（H）
可動範囲	X,Y= 10 mm、Z= 3 mm、R= 360度（無制限、エンコーダー付きオプション有）、 T= ±90度（エンコーダー付き）
絶対精度	T <0.4度（7×10^–3 rad）、 R（エンコーダー付きオプションの場合） < 0.4度（7×10^–3 rad）
分解能	直線軸 < 0.05 nm、回転軸 < 4×10^–7 度（6.5×10^–9 rad）
繰返し精度	T < 0.03度（4×10^–4 rad）
速度	1 mm/s（最大）
ドリフト	< 1.5 nm/min

アプリケーション

●　電子チャネリングコントラストイメージング（ECCI）
●　電子後方散乱回折（EBSD）
●　トモグラフィー
　… その他、サンプルのユーセントリックな配置を必要とするアプリケーション

紹介動画

[Eucentric Five Axis Tilting Stage]

Kleindiek社＜マイクロマニピュレータ・サブステージ＞

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