- リモートプラズマクリーナーが低圧で使用できるメリットは何ですか？
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主に３つのメリットがございます。
1. 高真空(0.1mTorr～2Torr*)でプラズマ点火が可能ですので、ターボポンプを停止する必要がありません。
ユーザーはガンゲートバルブを閉じ、チャンバーに接続されている他の高電圧装置の電源を切るだけで使用できます。2. チャンバー内部の圧力が20mTorrより著しく高い場合、新たに生成されたラジカル種は、プラズマソースから拡散する前に相互に再結合してしまいます。
低圧放電は、チャンバー内のラジカル種の損失を低減します。3. プラズマソースを低圧で作動させることで、発生源とチャンバーとの間のコンダクタンスを非常に大きくすることができます。
それにより新たに発生したラジカルが洗浄チャンバ内に容易に拡散できるようになります。*設置条件によって異なります。詳細は別途お問い合わせください。
- 自動RFインピーダンスマッチング(整合)のメリットは何ですか？
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プラズマソースが常に最適なRF条件で動作するので、手動によるインピーダンスマッチングを行う必要がありません。
多くのRFプラズマシステムでは、単に反射RF電力をゼロにすることは、必ずしもプラズマソース内部のRF結合を最適化を意味するものではありませんが、 PIE社の自動インピーダンスマッチングアルゴリズムは、内蔵のプラズマプローブにより、反射電力を最小にすることに加えて、プラズマ強度を最適化することが可能です。
- 最適なレシピはどのように設定すれば良いのですか？
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センサーからフィードバックされたプラズマ強度に基づいて、ソース真空度(もしくはガス流量)およびRF電力を調整できます。
異なる真空システムは、異なるポンプ速度および異なるチャンバサイズを有します。 したがって、最適なガス流量は、システムによって異なる場合があります。
PIE社のプラズマクリーナーは、ガスの流れを電子的に制御することができます。ユーザーがソース内の真空度を変更すると、流量コントローラは設定された圧力を維持するようにガス流量を自動的に調整します。 プラズマ強度は内蔵されたプラズマセンサーにより監視できます。
ユーザーは表示されるプラズマ強度を元に、所望のクリーニング速度に対するソース真空度、RF電力を調整することで最適なレシピを作成できます。
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