＜アプリケーション紹介＞ マニピュレーター・プローバー

  マイクロマニピュレータ／プロ―バーシャトルは既存の電子顕微鏡(SEM/FIB)、光学顕微鏡を簡単にアップグレードできます。
  サンプルを「観る」ことが主体の顕微鏡に、「測る」「操る」といった機能を付加し、顕微鏡をミクロの作業場として利用することが可能になります。ミクロ ～ ナノ領域での超精密操作・高い位置決め精度によりナノテクノロジー分野の研究開発をサポートします。

マニピュレーション

　・マイクロマニピュレータMM3A-EM

　・Plug-inツール　マイクログリッパー

　・電子線硬化接着剤　SEMGLU

EBIC,RCI(EBAC)

EBIC(電子線誘起電流)は、半導体の故障を検出するためのナノプローブ解析技術です。
EBICならびにRCI(吸収電流像)、EBAC、EBIV、およびEBIRCHのような関連する方法は、電子ビームを用いて試料内部の信号を生成し、その後信号を画像化の目的で増幅します。

　・マイクロマニピュレータMM3A-EM

　・Plug-inツール　微小電流測定キット

in-situ AFM

原子間力顕微鏡（AFM）と走査型電子顕微鏡（SEM）の組み合わせにより、新たな可能性が広がります。
SEMの内部で、コンパクトでフレキシブルなAFMを使用することにより、SEM観察により得られる二次元方向の寸法および材料に関する情報を、凹凸情報、力情報によって補完することができます。

　・SuperFlat AFM