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プラズマクリーナーアプリケーション

＜アプリケーション例＞プラズマクリーナー

 

装置性能を最大限に引き出します！

プラズマクリーナーTOP　▶

 

　
・フォトレジスト剥離・デスカム処理、
　シリコンウエハの有機汚染除去
・PDMS、スライドガラス、
　ラボオンチップ、その他
　マイクロ流体アプリケーション
　のためのプラズマ処理
　
・ワイヤボンディング、
　フリップチップアンダーフィル、
　デバイスの封止と開封
　
・金属の接着結合を改善するための
　プラズマクリーニングと表面処理
・ポリマーやプラスチックの
　表面活性化と接着性の向上
　
・ALD、XPS、MBEシステムの
　炭素系汚染除去
・炭化水素汚染除去のための
　リモートプラズマクリーナー
　：E-Beam Review（EBR）、
　　E-Beam Inspection（EBI）検査、
　　CD-SEM　の汚染管理
　
・XPS（PES）、SIMS、AESなどの
　高真空装置で炭素系汚染を除去する
　水素または酸素のダウンストリーム
　プラズマクリーニング
・炭化水素汚染除去のための
　リモートプラズマクリーナー
　：EUVリソグラフィ、マスク検査、
　　電子ビーム直接描画のための
　　コンタミネーション管理
　
・ポンプダウン時間を短縮し、
　超高真空をより速く達成する方法
　
　
製品に関してのお問い合わせ
弊社では、各製品のカタログや資料をご用意しております。
デモ機在庫の有る製品も御座いますので、不明な点や価格的なご質問と共にお問い合わせよりご連絡下さい。
現在お客様の方で考えられているご使用目的、必要スペック、PC環境等を合わせてご連絡頂ければ該当する商品担当者よりご提案させて頂きます。 (お探しの商品が見付からない場合はお気軽にお問い合わせ下さい。)