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電子顕微鏡周辺機器／薄膜作成／プラズマクリーニング

ﾏｲｸﾛﾏﾆﾋﾟｭﾚｰﾀ/ｺﾝﾀﾐ予防除去ﾂｰﾙ/ｽﾊﾟｯﾀ装置・ｶｰﾎﾞﾝｺｰﾀｰ/SEM・FIB向けｸﾗｲｵSEMｼｽﾃﾑ

電子顕微鏡・表面分析装置 周辺機器 カタログ

 

電子顕微鏡（SEM/FIB）向け

  

光学顕微鏡 / マイクロスコープ 向け
 ▶ マイクロマニピュレータ
 ▶ プローバーシャトルシステム
 ▶ 高真空対応ピエゾステージ
 ▶ マイクロマニピュレータ
 

試料前処理ツール

  

薄膜作成 / プラズマクリーナー
 ▶ スパッタコータ/カーボンコータ
 ▶ プラズマクリーナー
 ▶ クライオSEMシステム
 ▶ グロー放電 表面改質装置
 ▶ 多種ターゲット・デュアルターゲット対応スパッタ装置
 ▶ 半導体インライン装置・真空チャンバー向けプラズマクリーナー
 

電子顕微鏡用周辺ツール

  

その他関連
 ▶ TEM用CMOSカメラ
 ▶ TEMホルダー真空保管ステーション
 ▶ リトラクタブルBSE検出器
 ▶ プローブニードル
 ▶ ３D 再構築ソフトウェア
 

 

 

　

NewTec Scientific 社

環境制御型SEMの試料室内に設置
・高真空～低真空(ガス導入可)
・ソフトウエア制御対応　ほか
　
環境制御型SEMの試料室内に設置
・引張、圧縮、屈曲、均質・勾配加熱
・ソフトウエア制御　ほか
光学顕微鏡に設置
・安定した電子ビーム
・カラー観察
・全自動ステージ　ほか
　
　

Kleindiek 社 (クラインディーク)

SEM/FIBの試料室内にインストールし、マニピュレーション・プロービングなどを行います。
・エンコーダー機能付き
・高真空対応（UHV, 低温対応も可能）
　
光学顕微鏡 / マイクロスコープに設置されます。
・大気仕様(真空は非対応)
・高湿度環境仕様
マニピュレータのPlug-inツール。
マニピュレータの先端を付け替えることで機能を追加します。
　
マニピュレータのAdd-onツール。
マニピュレータと併用することで機能を追加します。
高真空対応のピエゾステージ。
SEM / FIBステージの高精度化が可能です。UHV対応もあり、ビームラインにも最適です。
　
プローブ針・電子線硬化接着剤など
　

Quorum Technologies 社

●ラボ向け多目的成膜用途
●薄膜・電極作成用途
●分析試料の導電性コーティング、保護膜形成
●カーボン支持膜の形成、TEMレプリカ法への応用
　
●低～中倍率SEM観察向け
●簡単操作、完全な自動運転
●TEMカーボン支持膜、
　グリッドの表面改質 等
●基板の表面改質 等
　
●TEMグリッドの粒子や分子の広がりを改善
●表面のソフトクリーニング
●FE-SEM/SEM/FIB向け
●含水試料観察
　
　

PIE Scientific 社

●有機系コンタミネーション予防＆除去ツール
●TEMホルダー真空保管ステーション
　
プラズマクリーナーの様々な
アプリケーション例をご紹介します。
　

Crytur 社

●単結晶CRY 18(100nmのAlコーティング)
●超長寿命のセンサ
●高温、ガス環境下でも優れたS/N比
●低～高真空環境下でのBSE像
　
●単結晶YAG:Ceセンサ
●優れたS/N比
●無限のセンサ寿命
●HV + LV + ESEM操作
　

MESOSCOPE 社

●SEM/FIB向け[ﾅﾉﾌﾟﾛｰﾋﾞﾝｸﾞ]
●光学顕微鏡向け[ﾏｲｸﾛﾌﾟﾛｰﾋﾞﾝｸﾞ]
●STM向け
　
　

TVIPS 社

●TemCam-F216　[2K]
●TemCam-XF416 [4K]
●TemCam-F816　[8K]
　
● EM-MENU
● 自動電子トモグラフィ
　

digisens 社

　
　
製品に関してのお問い合わせ
弊社では、各製品のカタログや資料をご用意しております。
デモ機在庫の有る製品も御座いますので、不明な点や価格的なご質問と共にお問い合わせよりご連絡下さい。
現在お客様の方で考えられているご使用目的、必要スペック、PC環境等を合わせてご連絡頂ければ該当する商品担当者よりご提案させて頂きます。 (お探しの商品が見付からない場合はお気軽にお問い合わせ下さい。)