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速度・感度・ダイナミックレンジ・解像度に優れた、sCMOSカメラ
低~中倍率SEM観察向け。簡単操作、完全自動運転のスパッタコーター
近赤外線カメラ。SONY製 IMX990を搭載した、1280×1024画素のInGaAsカメラ
9インチ大型チャンバー、高RF出力を備えた卓上型プラズマクリーナー
感度・速度・解像度・視野を兼ね備えた、EUVや軟X線の直接測定に適したカメラ